真空泵是將設備或系統中的氣體抽出，使其壓力低于大氣壓的氣體輸送設備，用以維持生產過程中所要求的真空狀態。
真空泵可分為兩大類，即干式真空泵和濕式真空泵。干式真空泵只從容器中抽出干氣體，可以達到96%-99.9%的真空度，而濕式真空泵則在抽吸氣體的同時，將帶出部分液體，因而只能產生85%-90%的真空度。
在結構上，真空泵的形式很多，現將化工廠中常用的幾種類型介紹如下。
1.往復式真空泵
往復式真空泵的工作原理與往復式壓縮機機泵相同，在結構上差異也很小，只是所用的閥必須更輕一些。但所要求達到的真空度較高時，例如要得到95%的真空度(即0.05atm)，其壓縮比將達20以上，在這種情況下，余隙中殘留的氣體的影響會更大。為降低余隙的影響，除對真空泵的余隙系數要求很小外，還可以汽缸左，右兩端之間設置平衡氣道。在活塞排氣終結時，讓平衡氣道連通一段很短的時間，以使余隙中殘留的氣體從活塞的一側流道另一側，從而使壓力降低。往復式真空泵排送氣體時不應含有液體，所以入泵前應將所含液體先行除去。我國已生產五種W型的往復式真空泵。
2.水環真空泵
水環真空泵的結構很簡單，在圓形機殼中有一偏心安裝的轉子，由于殼內注有一定量的水，當轉子旋轉時，因離心力的作用，將水甩至殼壁上形成水環，此水環具有液封作用，將葉片間空隙封閉成許多大小不同的空室。當轉子旋轉，空室由小到大時，氣體被從吸入口吸入;當空室由大到小時，氣體被由壓出口壓出，水環真空泵的是濕式真空泵，它可造成的最高真空度為85%。當將吸入口通大氣，壓出口通設備或系統時，水環真空泵可產生低于1atm(表壓)的壓縮氣體，故可作鼓風機使用。由于水環真空泵不斷充水以保持液封，同時起到了冷卻泵體的作用。若將循環水改為其他液體，則稱為液環泵。
3.噴射泵
噴射泵是利用流體流動時的靜壓能與動壓能相互轉換的原理來吸，送流體的，既可用于吸送氣體，也可用于吸送液體。在化工生產中，噴射泵多用于抽真空，故又稱為噴射式真空泵。噴射泵的工作流體可以為蒸汽，也可以為水或其他流體。
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