真空泵是用以產生、改善和維持真空的裝置。按其工作壓強，可分為低真空泵、高真空泵和超高真空泵;按其工作原理，大致可分為下面兩大類：
(1)壓縮型真空泵。也稱為排除型真空泵。其原理是將氣體由泵的入口端壓縮到出口端，并排出泵體外。例如，利用膨脹一壓縮作用的旋轉式機械真空泵、滑閥泵、羅茨泵等;利用氣體黏滯牽引作用的蒸汽流噴射泵;利用氣體擴散作用的蒸汽流擴散泵;利用分子牽引作用的分子泵等。
(2)吸附型真空泵。也稱俘獲型真空泵。其原理是利用各種吸氣作用將氣體吸附在泵體內以達到降低氣體壓強的目的。例如，利用電離吸氣作用的離子泵;利用物理或化學吸附作用的吸附泵、低溫冷凝泵和吸氣劑泵等。在這類泵中，氣體分子并不排出泵外，而是被永久儲存或暫時儲存于泵內。
任何真空泵，在其工作時除了抽氣因素外，總是存在著與抽氣相矛盾的因素。例如，氣體經壓縮后的反擴散、氣體分子從表面的脫附等，這些現象稱為真空泵的返流。只有在抽氣作用強于返流時，泵才能有效地工作。因此，每種泵都有自己的有效運用壓強范圍及固有特點。設計、制造及運用各種真空泵都是以加強抽氣作用、抑制返流為目的的。
有些真空泵可以直接在大氣下開始工作，如機械泵和吸附泵;有些泵不能從大氣開始，如擴散泵、分子泵、離子泵等，這時就必須輔以滿足一定要求的前級泵，提供其正常工作所需要的真空度。因此，真空泵按其在真空系統中的角色還可以分為主泵、前級泵、輔助泵等。前級泵有兩個作用：一是為高真空泵的運轉提供初始環境，因為高真空泵通常不能在大氣壓下運轉;二是在高真空泵運轉時，前級泵幫助把高真空泵排出的氣體排到大氣中去。
關注澤德微信
關注澤德微博