軸流分子泵的特點及應用
發布時間：2017年07月27日 10:45 閱讀：5262
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澤德
軸流分子泵是在分子流范圍工作的渦輪式真空泵，對于與高速運動的固體表面相碰撞的氣體分子，給予動量，使其由低壓區向高壓區產生分子流。具有動葉與靜葉，入射到動葉上的氣體分子，碰到葉表面后進行反射，通過靜葉，進入下一級的動葉。從而葉的圓周速度對于抽氣性能非常重要，要求達到氣體分子的最大概率速度的1/2左右。通常抽氣速率幾乎不因氣體種類而變動，但卻具有氣體的分子量越大其壓縮比越大的特點。
軸流分子泵用油封式機械真空泵或機械增壓泵等前級真空泵，把反壓力降到分子流范圍后使用，它和機械增壓泵一樣，沒有油蒸汽的反流，可以獲得所謂的清潔真空。
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