蒸汽流真空泵事利用高速氣流與空氣之間的流體力學(xué)相互作用形成負壓而抽氣的裝置，主要有水蒸汽噴射泵、油擴散泵、油擴散噴射泵等類型。
噴射泵是由工作噴嘴和擴壓器及混合室相聯(lián)而組成的。工作噴嘴和擴壓器這兩個部件組成了一條斷面變化的特殊氣流管道，氣流通過噴嘴可將壓力能轉(zhuǎn)變?yōu)閯幽堋９ぷ髡羝麎簭姾捅玫某隹趬簭娭g的壓力差，使工作蒸汽在管道中流動。
在這個特殊的管道中，蒸汽經(jīng)過噴嘴的出口到擴壓器人口之間的這個區(qū)域(混合室)，由于蒸汽流處于高速而出現(xiàn)一個負壓區(qū)。此處的負壓要比工作蒸汽壓強和反壓強只低得多。此時，被抽氣體吸進混合室，工作蒸汽和被抽氣體相互混合并進行能量交換，把工作蒸汽由壓力能轉(zhuǎn)變來的動能傳給被抽氣體，混合氣流在擴壓器擴張段某斷面產(chǎn)生正激波，波后的混合氣流速度降為亞音速，混合氣流的壓力上升。亞音速的氣流在擴壓器的漸擴段流動時是降速增壓的。
油擴散泵、油擴散噴射泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達到抽氣的目的，故有與水蒸汽噴射泵相似的特點。不同點是擴散泵工作在高真空區(qū)域，其工作壓強范圍為10-2～10-6Pa，廣泛用于電子、化工、冶金、機械、石油及原子能等工業(yè)部門中。
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