擴散泵的加熱功率不屬于泵的主要性能指標，但它對于泵的使用性能和比功耗關系很大。擴散泵的每一項性能指標，都對應一個最佳的加熱功率值。不同的工作液和抽出的不同種類的氣體，加熱功率最佳值也不一樣。
1.加熱功率與抽速的關系
如果加熱功率小于最佳值，蒸氣射流速度和密度不夠大，被抽氣體容易反擴散，因而抽速較小。如果加熱功率超過最佳值，蒸氣射流密度過大，被抽氣體不易往蒸氣流中擴散，蒸氣流速度過大，撞擊到泵壁上來不及冷凝而反濺射，再加上油蒸氣熱分解形成的無規則運動，都會使油速減小。對于質量較輕的氣體，反擴散較嚴重，需要較大的蒸氣流密度來防止反擴散，因而抽速峰值移向加熱功率較大的方向。
2.加熱功率與極限壓力的關系
加熱功率過大，油蒸氣熱分解加重，反油率變大，使極限壓力上升。加熱功率過小，油蒸氣邊界層分子無規則熱運動量增加，造成返流加大，也會使極限壓力升高。因此有個加熱功率的最佳值。
3.加熱功率與出口壓力和返油率的關系
擴散泵的出口壓力主要靠泵的最后一級(或噴射級)噴嘴噴出的蒸氣射流的速度和密度來實現，加熱功率大，則蒸氣射流的密度和速度都加大，射流的強度增高，耐壓能力增強，因此泵出口壓力隨加熱功率單值上升。
前面已經提到加熱功率對返油率的影響，對于已經調整好頂噴嘴間隙的泵，可調整加熱功率，使返油率達到最低值。調整頂噴嘴間隙，返油率隨加熱功率變化，間隙愈小，返油率愈小，且分別有最佳加熱功率值。
4.調整泵加熱功率的方法
擴散泵生產廠家和用戶都希望泵在最佳功率下工作，這時蒸氣流的速度和密度最理想，從而能使泵的抽速最大，極限壓力最低，返油率最低等。想要同時滿足這些條件是很難辦到的，泵的用戶可根據需要調整加熱功率。如果沒有特殊需要，通常都是從極限壓力這個角度人手來調整加熱功率。
調整泵加熱功率的方法是：在泵的加熱器上接一自耦變壓器，再接一功率表，或串聯一電流表，并聯一電壓表(電流表量程視加熱功率大小而定)。把泵抽至極限壓力后，調加熱電壓，使極限壓力降低，等穩定后，記下電離真空計指示的最小極限壓力時的加熱功率數值(或此時電流電壓值的乘積)，即可認為是加熱功率的最佳值。這種方法是很粗糙的，但對工程使用來說是簡單而方便的。
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