目前真空技術的應用已擴展到整個工業，某些行業，如食品、衛生、半導體、電子工業等，不能使用有油的旋片機械泵。因此，干式真空泵的出現滿足了無油工藝的要求。
干式真空泵有非接觸型的羅茨式、爪式、螺桿式，接觸型的葉片式、凸輪式、活塞式等。非接觸型可以高速旋轉，但最大壓縮比小。接觸型的轉速不能太高，但最大壓縮比大。尤其存大氣壓附近，因逆流量變大使后者的壓縮比為前者的5～8倍。另外，干式真空泵的轉速越高，其壓縮比越大。從使用壽命、所能達到的壓縮比、轉速及動平衡性等方面考慮，常采用多級爪式轉子串聯或羅茨轉子與多級爪式轉子串聯組合成千式真空泵。
1．羅茨泵
羅茨真空泵是一種無內壓縮的旋轉變容式真空泵。在羅茨泵泵腔內有兩個形狀對稱的轉子，轉子形狀有兩葉、三葉和四葉。兩個轉子彼此朝相反方向旋轉，由軸端齒輪驅動同步轉動。氣體進入泵體后，隨著轉子的旋轉，被抽氣體與前面出氣口連通，被前級泵排出。與旋片機械泵不同，羅茨泵沒有壓縮氣體，因此，羅茨泵不能單獨對大氣排氣，必須配以前級機械泵同時工作，由前級機械泵將羅茨泵排除的氣體抽走。
2．爪式泵
爪式泵采用了形狀復雜的爪形轉子。吸氣口和排氣口分別固定在轉子兩側端蓋的側面上，與上一級和下一級轉子相連。兩個爪形轉子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積，當兩轉子按圖示方向旋轉時，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積由小變大而吸氣：當轉子關閉吸氣口時吸氣結束，隨后泵腔容積由大變小而壓縮氣體；當泵腔容積與排氣口接通時，泵腔排氣，直到泵腔與排氣口隔斷時為止，排氣結束。轉子繼續旋轉，重復上述吸氣、壓縮、排氣過程。
爪式泵常采用兩種結構：三級爪式轉子加一級羅茨式轉子構成多級泵；四級爪式轉子串聯構成多級泵。這種泵的吸氣口、排氣口設置在泵腔的端壁上。多級連接很方便，氣道流暢，泵內腔壓強變化平緩，有利于防止可凝性氣體的凝結。
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